电子束爆光装置

中文名称:电子束爆光装置

仪器型号:S-3000N电镜+图形发生器

主要应用范围:

纳米器件的制版和曝光。

主要技术指标:

分辨率： 3nm；最小曝光尺寸：80nm

生产厂商:

中科院上海电工研究所